【出 处】：《 传感器与微系统 》 CSCD 2010年第1期 117-120页,共4页

【作 者】： 曾婕 ; 文玉梅 ; 李平 ; 栗建中 ; 张小花

【摘 要】 针对磁电层复合式磁传感器Q值低的问题，提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构，通过测量音又谐振频率变化量或Q值变化量达到检测静磁场的目的。采用有限元方法对磁性薄膜的位置进行了分析，发现薄膜复合于音叉侧臂顶部有最灵敏的磁场探测能力，并进行了实验验证。实验结果表明：测量Q值变化量比测量谐振频率变化量更优，最大灵敏度为119．471／mT，测量Q值分辨率为1，石英音叉Q值稳定度为20×10^-6时，该磁传感器结构对磁场的分辨率为10^-6T，敏感结构在零偏置磁场时Q值达2000左右。