【出 处】：《 传感器与微系统 》 CSCD 2010年第1期 55-57页,共4页

【作 者】： 谢俊叶 ; 李健 ; 汪良

【摘 要】 用真空热蒸发两步法在玻璃衬底制备SnO2和La掺杂SnO2薄膜。研究氧化、热处理工艺和La掺杂含量对SnO2薄膜结构、气敏特性的影响。结果显示：经T=550℃，t=45min氧化、热处理后，得到n型金红石结构SnO2薄膜。适当掺La可改善SnO2薄膜结晶状况，掺La后SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善，在气体体积分数为1×10^-2时，掺La（5％）的SnO2薄膜对乙醇的灵敏度为12；掺La（3％）的SnO2薄膜对丙酮的灵敏度可达到14。