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投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
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新型抗腐蚀结构声表面波湿度传感器的研究
【出 处】：《
传感器与微系统
》
CSCD
2011年第30卷第1期 38-40页,共3页
【作 者】：
童筱钧
[1,2] ;
钟素娟
[2]
【摘 要】
为解决声表面波（SAW）湿度传感器存在易被污染、不易清洁、稳定性差等问题，提出了一种新的基于改进的单端口SAW谐振器结构用于湿度检测。在此结构中，在ITO材料制作的叉指换能器和反射阵上溅射厚度为5pmSi3N4层以屏蔽各种腐蚀性物质如酸性、碱性等腐蚀性气体对SAW谐振器电极的侵蚀。相比常规谐振器，新结构加大了谐振器叉指换能器与一个反射阵之间距用于涂敷湿敏材料，同时在石英基片背面布设ITO材料脱湿电路。给出了基于此类结构SAW湿度传感器的制作工艺、感湿实验测试结果。实验验证了该结构SAW湿度传感器的可清洁性、耐腐蚀性及该结构的有效性。
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