【出 处】：《 传感器与微系统 》 CSCD 2011年第30卷第1期 13-15页,共3页

【作 者】： 王晓兵 ; 李培 ; 娄向东 ; 赵晓华 ; 王学锋

【摘 要】 对In2O3粉体进行Fe掺杂，采用水热法合成了In2O3粉体。通过X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM），透射电子显微镜（TEM）等手段对粉体的物相、形貌、粒度等进行表征。TEM图表明：质量分数为7％Fe掺杂的样品为均匀排列的棒，长度约为300-500nm，宽度约20nm。对样品进行气敏性能研究，结果表明：质量分数为7％Fe掺杂的In2O3气敏元件，当工作温度为125℃时，对100×10^-6Cl2的灵敏度高达182．75。元件对10×10^-5Cl2的灵敏度为17．9，可以检测到低体积分数的Cl2并具有选择性好、响应-恢复时间短等特性。