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2.请投稿时一定要详细填写通讯地址、邮编和电话号码以便及时进行沟通
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投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
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微气体传感器结构设计和优化
【出 处】：《
传感器与微系统
》
CSCD
2013年第32卷第1期 128-130页,共3页
【作 者】：
张晓波
;
陕皓
;
刘丽
;
王连元
;
李守春
;
王国光
【摘 要】
设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。
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