【出 处】：《 传感器与微系统 》 CSCD 2013年第32卷第1期 83-86页,共5页

【作 者】： 吴文荣 [1] ; 余大海 [1] ; 裘祖荣 [2] ; 黄心汉 [3] ; 王红莲 [1] ; 罗敏 [1]

【摘 要】 微靶是惯性约束聚变研究中的一个关键器件,针对该器件研制了一种半自动微装配系统,该系统可以对由两半腔（直径约800～1000μm,长1 mm左右）和微球（直径200～500μm）组成的微器件进行半自动装配。详细介绍了该系统的结构与组成及其所采用的关键技术与解决方案,分析了装配过程显微在线检测系统误差影响因素,并建立了测量误差数学模型。装配实验表明：该系统的装配精度≤10μm。