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2.请投稿时一定要详细填写通讯地址、邮编和电话号码以便及时进行沟通
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投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
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基于电子印刷工艺的薄膜热电偶研制
【出 处】：《
传感器与微系统
》
CSCD
2014年第33卷第1期 85-88页,共4页
【作 者】：
杨遂军
;
邬云晨明
;
于方舟
;
叶树亮
【摘 要】
薄膜热电偶由于具有体积小、热容量小及响应速度快等优点成为近年来学者们研究的重点。薄膜制备常用的方法有射频溅射法、离子镀膜法以及直流脉冲磁控溅射法等，但这些方法操作设备复杂，制作时间长，效率低，成功率低且复现性差。用电子印刷工艺制备薄膜热电偶，将Au-Pt的溶液化微纳米材料印制在基板上，印刷成为Au—Pt薄膜热电偶，该方法操作方便快捷，对电极材料污染小。通过试验证明：采用电子印刷工艺制备的Au—Pt薄膜热电偶符合Au—Pt热电偶检定规程的要求，热电偶精度高，重复性和一致性好。
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