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2.请投稿时一定要详细填写通讯地址、邮编和电话号码以便及时进行沟通
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投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日;刊登周期:8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准,根据常见的一些问题,特向广大作者提出以下要求:本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确,并且有详细实测数据,应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名, ...查看更多>>
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四电极电化学MEMS加速度传感器仿真
【出 处】:《
传感器与微系统
》
CSCD
2014年第33卷第1期 18-21页,共4页
【作 者】:
苏荣涛
[1,2] ;
李伟
[1,2] ;
车录锋
[1]
【摘 要】
基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变,从而使电极电流发生变化等电化学原理,建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极一阴极一阴极一阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过理论分析,该传感单元可以局部电解液为惯性质量,利用电解液中带电离子相对于电极的运动来产生并输出附加电流;进一步的建模仿真证明:在一定的加速度范围内(0〈ax〈0.149m/s^2),附加电流的大小同加速度呈正比关系,故可以将此电流放大输出,从而实现对加速度大小的表征。可利用MEMS工艺制作,并封装此传感单元成为加速度传感器。
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