重要信息
1.我刊发表周期通常为8个月稿件审阅周期约为30-60天
2.请投稿时一定要详细填写通讯地址、邮编和电话号码以便及时进行沟通
2.请投稿时一定要详细填写通讯地址、邮编和电话号码以便及时进行沟通
投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
玻璃浆料键合气密性研究
【出 处】：《
传感器与微系统
》
CSCD
2015年第34卷第1期 34-35页,共3页
【作 者】：
喻兰芳
[1,2] ;
梁庭
[1,2] ;
熊继军
[1,2] ;
崔海波
[1,2] ;
王心心
[1,2] ;
王涛龙
[1,2]
【摘 要】
研究玻璃浆料真空封装MEMS器件工艺,由于玻璃浆料键合工艺条件控制较为复杂,键合不当易失败漏气。利用光学显微镜、超声显微镜、激光显微镜、电镜等多种显微镜对各阶段玻璃浆料的形貌进行观察,对由印刷方式、预处理条件和键合工艺对键合气密性的影响进行了分析。提出了影响玻璃浆料键合气密性的几个原因,对玻璃浆料键合工艺条件控制有非常重要的指导意义。
相关热词搜索：