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投稿指南
1.投稿方式
请通过E-mail:cgqywxt@163.com 进行投稿。
2.编辑时限
审稿周期:5个工作日；刊登周期：8个月。
3.论文要求
为使来稿格式符合国家科技期刊格式标准，根据常见的一些问题，特向广大作者提出以下要求：本刊主要刊登敏感元器件、传感器与微系统及其相关技术的文章。论文应理论清楚、正确，并且有详细实测数据，应提供中、英文的题名、作者与单位、摘要、关键词 、图与表题名， ...查看更多>>
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单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究
【出 处】：《
传感器与微系统
》
CSCD
2015年第34卷第1期 9-12页,共5页
【作 者】：
简泽明
[1,2] ;
陈尚
[3] ;
张国军
[1,2] ;
刘梦然
[1,2] ;
许娇
[1,2] ;
张文栋
[1,2]
【摘 要】
针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏或工作不正常时,水听器仍能正常工作。结合ANSYS软件对阵列敏感微结构进行了仿真分析;设计了该微结构的加工工艺流程;最后,对阵列式MEMS矢量水听器进行水声校准测试。测试结果表明：阵列式水听器可靠性明显提高,灵敏度达到-179 d B（0 d B=1V/μPa）,具有良好的＂8＂字指向性。
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